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東京エレクトロン、米国の半導体洗浄装置メーカーFSI社を買収

 東京エレクトロンは、米国の半導体洗浄装置メーカーFSI社を買収することを発表した。東京エレクトロンの竹中博司社長は「洗浄装置のポートフォリオの拡充により、当社の洗浄装置事業の拡大と株主価値のさらなる向上に貢献するものと確信しております」とコメントしている。

 洗浄技術は、半導体製造にとって欠くことのできない重要な工程であり、今後もその重要性は増していくと考えられている。東京エレクトロンは、半導体製造装置事業において洗浄装置を注力分野の一つとして位置づけ、事業の拡大とポジション向上を目指してきた。

 FSI社は、半導体洗浄分野において先端技術と多くの量産採用実績を持つ洗浄装置メーカー。FSI社のプロセス技術は東京エレクトロンの技術と補完的な関係にあり、かつその製品群に生産性と低欠陥性に優れた東京エレクトロンの装置技術を組み合わせることで、これまで以上に競争力の高い製品ラインナップを取り揃えることが可能となる。


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