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産総研、微細トランジスタの不純物濃度分布を高精度に測定する手法を開発

　独立行政法人　産業技術総合研究所（以下「産総研」）は、微細トランジスタの不純物濃度分布を高精度で測定するための走査トンネル顕微鏡（STM；Scanning　Tunneling　Microscope）シミュレーション技術を開発した。

［ 2014/07/03 木曜日 09:11   製造全般 ］


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