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マスフローコントローラーＧＦ100、米セレリティ社が発表
【サンノゼ（米カリフォルニア州）２０日ＰＲＮ=共同ＪＢＮ】世界の半導体、太陽発電、エレクトロニクス産業向け精密機械とガス／流体供給ソリューションのテクノロジーリーダーである米セレリティ社は２０日、半導体デバイスと太陽電池製造処理における高純度処理ガスケミストリーを精密測定、モニター、制御することを目指すマスフローコントローラー（ＭＦＣ）の新しいＧＦ１００シリーズの発売を発表した。新しいセレリティＧＦ１００ＭＦＣは、同社の第二世代の独自の圧力遷移（過度）に反応しないフォロー技術性能を持つ高度設定可能なプラットフォームで、プロセス制御能力を向上し、所有コストを削減して、複雑なインベントリー管理を無用にする。
新しいセレリティＧＦ１００シリーズＭＦＣ製品ファミリーは、高精度、再生可能ガス測定、最新デジタル・アーキテクチャー、処理の最大限の柔軟性と最適化に対するガスとフロー範囲のその場での電子的調整、圧力遷移（過度）に反応しないフロー技術設計（高純度ガス供給システムのコスト削減とサイズの縮小が可能）、インテリジェントな組み込み診断、サービスポート、シンプルで効率的なツール上の保守用ソフトウエア含む多くの重要な機能を備えている。
セレリティのデビッド・ソモ上級副社長（販売・マーケティング担当）は「セレリティは最先端のデジタル超高純度マスフローコントローラーのマーケットリーダーであり、圧力遷移（過度）に反応しないＭＦＣの業界先駆企業である。ＧＦ１００シリーズはガスフロー制御の深い経験を活用して、市場をリードする精密マスフローコントローラーの継続的改善アップデート（ＣＩＰ）製品であり、強化処置制御と低所有コストに対するＲｏＨＳ（有害物質使用制限）準拠アップグレードを顧客に提供する」と語った。
▽セレリティ（Celerity）について
セレリティ社は精密機器、先端的ガス・流体供給ソリューションの設計、エンジニアリング、製造のテクノロジーリーダーであり、これら技術は半導体製造に使われる機器、フラットパネルディスプレー、太陽電池パネルと関連製品に不可欠である。セレリティの本社は米カリフォルニア州サンノゼにあり、世界で約８００人を雇用しており、テキサス・パシフィック・グループが過半数利権を保有している非上場企業である。詳細はhttp: //www.celerity.net参照。
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- ［国際情報］マスフローコントローラーＧＦ100、米セレリティ社が発表 2009/01/21 水曜日
