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ニコン、ArF液浸スキャナー生産能力増強

 ニコンは6日、ArF液浸スキャナーの生産能力増強のため、約350億円を投じて熊谷製作所(埼玉県熊谷市)と栃木ニコンプレシジョンに(栃木県大田原市)の2カ所に新工場を建設することを発表した。

 ArF液浸スキャナーはNAND型フラッシュメモリの量産に使用されており、今後はロジックデバイス、DRAMメーカーへの本格的量産導入が期待されている。新工場の建設で生産能力を現在の2倍以上の年間90台規模に拡大させる。


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