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安川電機、クリーンロボット「SEMISTAR-GEKKO MD124D」を販売開始

安川電機は、半導体ウエハ搬送用クリーンロボットの新たなラインアップとして、当社のACサーボモータ「Σ-7 シリーズ」のダイレクトドライブモータを採用したクリーンロボット「SEMISTAR-GEKKO MD124D」を販売開始する。

［ 2020/05/28 木曜日 21:04 機械・部品］

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